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允利荣机械有限公司

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气体吸附器
气体吸附器

详细规格及用途描述

◎产品简述:
半导体或 TFT 制造业,制程中产生之气体于真空帮浦与 Local Scrubber 之间装设气体吸附器,可提前吸附残余气体,防止结晶体对于管径之阻塞。吸附器之构造,采用不锈钢双面吸网,内夹层水冷式双回路冷却管可拆式吸附式。

◎详细说明:
将 CVDA 制程时,所产生之气体,利用气体吸附器内低温,将细粉尘结晶于气体吸附器内,减少Local Scrubber PM 次数,缩短 PM 工时,减少 Local Scrubber 之 Loading,增加 Local Scrubber Performance,降低厂务主风管塞管之疑虑,降低电热器之成本,延长帮浦之寿命,降低帮浦维修成本。

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