气体吸附器
详细规格及用途描述
◎产品简述:
半导体或 TFT 制造业，制程中产生之气体于真空帮浦与 Local Scrubber 之间装设气体吸附器，可提前吸附残余气体，防止结晶体对于管径之阻塞。吸附器之构造，采用不锈钢双面吸网，内夹层水冷式双回路冷却管可拆式吸附式。
◎详细说明:
将 CVDA 制程时，所产生之气体，利用气体吸附器内低温，将细粉尘结晶于气体吸附器内，减少Local Scrubber PM 次数，缩短 PM 工时，减少 Local Scrubber 之 Loading，增加 Local Scrubber Performance，降低厂务主风管塞管之疑虑，降低电热器之成本，延长帮浦之寿命，降低帮浦维修成本。
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