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真空手套箱
真空手套箱

产品型号:LG series 原产地:台湾

详细规格及用途描述

真空手套箱
于99年生产手套箱为全台第一家国产手套箱,并和国内外仪器商/设备商进行配合,客户群
国外:美国,墨西哥,香港,新加坡,中国大陆等航太与军规品制程手套箱
各式手套箱型式
1.手套箱(含纯化/再生系统)
2.单面操作型手套箱(含纯化/再生系统 H 2 O<1ppm(v))
3.层流式无水无氧气氛控制系统

手套箱介绍
[手套箱本体]
(1)手套箱外尺寸:1250L+1250L X 840D X 920Hmm,底部骨架附輪子与高低调整脚
(2)手套箱本体材质:不锈钢 SUS304, 厚度:3mm,手套箱内部抛光沙面,外部粉体烤漆处理
(3)手套箱工作气体:氮气,氩气,氦气惰性气体环境
(4)置物层板:不锈钢 SUS304, 厚度:1.5mm,二个(900L X 200Dmm)
(5)照明:外挂式日光灯 30W*2 二盏
(6)手套箱视窗:透明 Lexan 视窗,厚度:10mm
(7)手套固定环:白色 Polyformaldehyde 材质, Size:220mm diameter,O-ring sealed
(8)手套:Butyl 材质, 厚度 0.4mm,手套數量:2 双
(9)手套箱泄漏率:<0.05Vol%/h
[电控系统]
(1)电源:220V/60Hz,10A ,手套箱内部附 AC110V 电源插座一组
(2)系统控制:PLC 可程式控制器搭配 5.7 寸中英文触控人机介面操控及显示水氧浓度及手套箱压力值
(3)手套箱压力可自由设定,自动定压(0-16mbar)控制与脚踩加压/减压开关控制手套箱压力
[气体纯化/再生系统与气体管线]
(1)纯化系统:气体密闭回路循环除水与除氧系统
(2)手套箱气体经纯化系统处理后浓度:H 2 O<1ppm(v) , O 2 <1ppm(v)
(3)纯化器(含触媒):材质为不锈钢 SUS 304,含加热器与保温,可重復再生使用
(4)再生控制:由 PLC 人机介面自动程式控制(自动/手动等再生操控模式),纯化器再生之日期具记
忆功能,可显示于人机画面上
(5)再生气体:氮氢混合气 N 2 /H 2 mixture(H 2 :3-5%)or 氮氩混合气 Ar/H 2 mixture(H 2 :3-5%)
(6)冷却系统:冷却水流速 2-3 l/min(冰水机购方自备)
(7)纯化系统循环风車:气体循环流速 70 m 3 /h at P=60 mbar
(8)纯化系统阀件:采用 KF-40 真空用气动阀控制
(9)控制阀:电磁阀 3/8",PLC 控制
(10)纯化系统管线:不锈钢 SUS304 配管,Type KF-40 真空接头系统
(11)供气配管:不锈钢 3/8" 配管
(12)纯化循环系统泄漏率:<10 -5 mbar-l/s(Purifier Unit And Components)
[气体过濾系统]
手套箱内微尘过濾系统:圆型 HEPA FILTER(0.3μm)循环过濾手套箱内部微尘气体
[SOLVENT TRAP]
有机吸附器:含活性碳吸附剂 10KG,与管线手动切换阀 KF-40 三个手动阀及抽真空及压力平衡阀
[真空帮浦]
真空帮浦:排气量 12m 3 /h,兩段式油回转真空帮浦,真空度<3 x 10 -3 mbar,真空帮浦停止运转后本身具
有逆止功能(EDWARDS RV-12)
[Feedthroughs 孔]
手套箱后侧 Feedthroughs 孔:5 个, KF- 40
[传递箱]
(1)大传递箱:不锈钢 SUS304,厚度 2mm 圆柱型传递箱直径=390mm, 长度=600mm
内部抛光处理,外部粉体烤漆,经硬阳处理铝门盖,10mm 厚,内部附置物滑台
充油式真空表 1 个 ,真空阀:KF-25 气动阀 1 个,压力平衡阀 3/8"电磁阀 1 个
大传递箱控制:内外门为手动操作,抽真空/压力平衡为 PLC 自动控制
(2)小传递箱:不锈钢 SUS 304,厚度 2mm,圆柱型传递箱 直径=150mm, 长度=300mm
充油式真空表 1 个 ,3/8"抽真空/压力平衡为手动控制
(3)传递箱泄漏率:<10 -5 mbar-l/s
[水氧侦测仪]
(1)微量湿度分析仪:0-1000PPM(V)
(2)微氧分析仪:0-1000PPM(V)
[手套箱自动 PURGING 系统]
(9)手套箱 PURGING 系统,可自由设定水氧浓度值,浓度侦测全自动启动 PURGING 手套箱
(2)手套箱破大气后,启动 Purge 系统须能于 60 分钟内,自动快速 Purge 降至 100ppm 水氧浓度以下

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公司名称: 旭豪真空科技有限公司
电话: 886-2-80763000
传真: 886-2-80763300

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