氣體吸附器
詳細規格及用途描述
◎產品簡述:
半導體或 TFT 製造業，製程中產生之氣體於真空幫浦與 Local Scrubber 之間裝設氣體吸附器，可提前吸附殘餘氣體，防止結晶體對於管徑之阻塞。吸附器之構造，採用不銹鋼雙面吸網，內夾層水冷式雙迴路冷卻管可拆式吸附式。
◎詳細說明:
將 CVDA 製程時，所產生之氣體，利用氣體吸附器內低溫，將細粉塵結晶於氣體吸附器內，減少Local Scrubber PM 次數，縮短 PM 工時，減少 Local Scrubber 之 Loading，增加 Local Scrubber Performance，降低廠務主風管塞管之疑慮，降低電熱器之成本，延長幫浦之壽命，降低幫浦維修成本。
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