真空手套箱

真空手套箱
於99年生產手套箱為全台第一家國產手套箱，並和國內外儀器商/設備商進行配合，客戶群
國外:美國,墨西哥,香港,新加坡,中國大陸等航太與軍規品製程手套箱
各式手套箱型式
1.手套箱(含純化/再生系統)
2.單面操作型手套箱(含純化/再生系統 H 2 O<1ppm(v))
3.層流式無水無氧氣氛控制系統

手套箱介紹
[手套箱本體]
(1)手套箱外尺寸︰1250L+1250L X 840D X 920Hmm,底部骨架附輪子與高低調整腳
(2)手套箱本體材質︰不銹鋼 SUS304, 厚度︰3mm，手套箱內部拋光沙面,外部粉體烤漆處理
(3)手套箱工作氣體︰氮氣,氬氣,氦氣惰性氣體環境
(4)置物層板︰不銹鋼 SUS304, 厚度︰1.5mm，二個(900L X 200Dmm)
(5)照明︰外掛式日光燈 30W*2 二盞
(6)手套箱視窗︰透明 Lexan 視窗,厚度︰10mm
(7)手套固定環︰白色 Polyformaldehyde 材質, Size︰220mm diameter，O-ring sealed
(8)手套︰Butyl 材質, 厚度 0.4mm,手套數量︰2 雙
(9)手套箱洩漏率︰<0.05Vol%/h
[電控系統]
(1)電源︰220V/60Hz,10A ,手套箱內部附 AC110V 電源插座一組
(2)系統控制︰PLC 可程式控制器搭配 5.7 吋中英文觸控人機介面操控及顯示水氧濃度及手套箱壓力值
(3)手套箱壓力可自由設定,自動定壓(0-16mbar)控制與腳踩加壓/減壓開關控制手套箱壓力
[氣體純化/再生系統與氣體管線]
(1)純化系統︰氣體密閉回路循環除水與除氧系統
(2)手套箱氣體經純化系統處理後濃度︰H 2 O<1ppm(v) , O 2 <1ppm(v)
(3)純化器(含觸媒)︰材質為不銹鋼 SUS 304，含加熱器與保溫,可重復再生使用
(4)再生控制︰由 PLC 人機介面自動程式控制（自動/手動等再生操控模式）,純化器再生之日期具記
憶功能，可顯示於人機畫面上
(5)再生氣體︰氮氫混合氣 N 2 /H 2 mixture（H 2 ︰3-5%）or 氮氬混合氣 Ar/H 2 mixture（H 2 ︰3-5%）
(6)冷卻系統︰冷卻水流速 2-3 l/min(冰水機購方自備)
(7)純化系統循環風車︰氣體循環流速 70 m 3 /h at P=60 mbar
(8)純化系統閥件︰採用 KF-40 真空用氣動閥控制
(9)控制閥︰電磁閥 3/8〞,PLC 控制
(10)純化系統管線︰不銹鋼 SUS304 配管,Type KF-40 真空接頭系統
(11)供氣配管︰不銹鋼 3/8〞 配管
(12)純化循環系統洩漏率︰<10 -5 mbar-l/s（Purifier Unit And Components）
[氣體過濾系統]
手套箱內微塵過濾系統︰圓型 HEPA FILTER(0.3μm)循環過濾手套箱內部微塵氣體
[SOLVENT TRAP]
有機吸附器︰含活性碳吸附劑 10KG,與管線手動切換閥 KF-40 三個手動閥及抽真空及壓力平衡閥
[真空幫浦]
真空幫浦︰排氣量 12m 3 /h,兩段式油回轉真空幫浦,真空度<3 x 10 -3 mbar,真空幫浦停止運轉後本身具
有逆止功能(EDWARDS RV-12)
[Feedthroughs 孔]
手套箱後側 Feedthroughs 孔︰5 個, KF- 40
[傳遞箱]
(1)大傳遞箱︰不銹鋼 SUS304,厚度 2mm 圓柱型傳遞箱直徑=390mm, 長度=600mm
內部拋光處理,外部粉體烤漆,經硬陽處理鋁門蓋,10mm 厚,內部附置物滑台
充油式真空表 1 個 ,真空閥︰KF-25 氣動閥 1 個,壓力平衡閥 3/8〞電磁閥 1 個
大傳遞箱控制︰內外門為手動操作,抽真空/壓力平衡為 PLC 自動控制
(2)小傳遞箱︰不銹鋼 SUS 304,厚度 2mm,圓柱型傳遞箱 直徑=150mm, 長度=300mm
充油式真空表 1 個 ,3/8〞抽真空/壓力平衡為手動控制
(3)傳遞箱洩漏率︰<10 -5 mbar-l/s
[水氧偵測儀]
(1)微量濕度分析儀︰0-1000PPM(V)
(2)微氧分析儀︰0-1000PPM(V)
[手套箱自動 PURGING 系統]
(9)手套箱 PURGING 系統,可自由設定水氧濃度值,濃度偵測全自動啟動 PURGING 手套箱
(2)手套箱破大氣後，啟動 Purge 系統須能於 60 分鐘內,自動快速 Purge 降至 100ppm 水氧濃度以下