无尘操作台是一种经济及有效的环境污染控制的方法,搭配使用 99.99%,0.3μm, HEPA 过滤器,以确保工作台或检验程序台的严格清净度...

风扇过滤装置 (FFU) 是一种提供净化空气给无尘室的设备,可很方便地变换 FFU的安装数量与型式,以符合制程设备的清净度要求.

浴尘室是无尘室与工作者更衣区之间 , 避免污染的屏障,其可避免因为不恰当或无预期地打开门,所造成的意外污染状况 .