中研院成功開發8吋超導量子晶片製程 揭牌雙平台助研發

中央研究院10日於南部院區發表量子電腦晶片製程科學研發成果，成功以8吋晶圓機台製作高品質超導量子位元，也揭牌國內首座「量子晶片製程研發平台」與「量子計算測試平台」，有助台灣在全球量子科技競賽中發揮關鍵角色。

中研院院長廖俊智指出，「發展量子科學必須同時投入高階製程研發人力，及尖端硬體設施。中研院設置的兩項重要量子設施將開放全國學研界合作使用。中研院希望藉由資源整合與平台共享的效益，推動我國量子科技的發展，並吸引更多優秀人才投入量子關鍵領域的研究」。

中研院關鍵議題研究中心的量子電腦專題中心執行長、特聘研究員陳啟東說明，隨量子位元持續增加，量子晶片製程控制與均勻性要求日益嚴格。我國雖在半導體晶片製程獨步全球，但半導體晶片與量子晶片的製程及需求有顯著差異，突破製程穩定度與均勻性的技術關卡為當前量子電腦面臨的關鍵挑戰。

陳啟東還提到。中研院團隊過去三年主導相關研究計畫，除了在傳統4吋機台上成功驗證尖端超導量子位元製程，並達到國際水準以外，同時與工研院電光所及國研院半導體中心密切合作，進一步在自動化8吋機台上，成功開發數種超導量子位元的新式製程。此次中研院在南部院區建置全新8吋晶圓製程研發與量子計算設施平台，達成國內量子晶片研發的重要里程碑。

中研院指出，今日揭牌的「量子晶片製程研發平台」(QC-Fab, Quantum Chip Fabrication Space)，為國內首座專為製造超導量子晶片所建構的8吋製程平台設施，具完善製程能力與即時檢測設備，可支援各類型超導量子位元製程的開發，以及高品質超導量子晶片與參數放大器研發。團隊也持續發展與建立三維堆疊製程技術，以打造多量子位元晶片為目標。

「量子計算測試平台」(QC-Test, Quantum Computing Test Space)則建置多套完整的低溫量測系統，配備高速、高精度的量測儀器與自動化控制，能快速最佳化量子邏輯閘操作，降低人力訓練成本。關鍵議題研究中心助研究員柯忠廷表示，團隊已開發並測試多種晶片封裝與電磁屏蔽設計，能提供低雜訊、高精度的量測環境，有效提升量子晶片的性能與穩定度。未來也將開放具備可調耦合功能的5位元超導量子處理器，供上層軟體堆疊的研發使用。

中研院表示，現今全球先進國家都積極布局量子科技，投入大量研發人力及資源以掌握最新技術。為拓展「量子國家隊」的研發能量，中研院、國研院、工研院及多所大學持續合作。關鍵議題研究中心主任李超煌表示，量子科技是中研院關鍵研究領域之一，自2024年初中研院發布成功打造由台灣自研自製的5位元超導量子電腦，並陸續驗證理論後，今日再為量子設施揭牌，朝向基礎研究到實際應用的垂直整合。期望為我國在量子電腦領域的創新與技術突破奠定堅實基礎，幫助台灣於全球量子科技競賽中發揮關鍵角色。